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    連續磁控鍍膜生產線

    文章來源:pengchengzk 更新時間:2020-02-03

    連續磁控鍍膜生產線

    連續磁控鍍膜生產線
    腔體結構:
    采用高效的臥式連續磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽進出樣室,前后過渡室,前后精抽室,前后緩沖室,濺射鍍膜室。
    靶材設計:
    采用新型旋轉陰極靶材以及平面陰極靶材。
    電源配置:配備大功率中頻磁控濺射電源
    傳動系統:
    鏈式傳動,變頻可調,感應式室門開啟系統。
    真空系統:
    分子泵+羅茨泵+機械泵+深冷泵
    可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
    生產線安采用了先進的插板閥進行腔室隔斷,可以實現有效隔斷,穩定工藝氣體。
    生產線采用了均勻進氣管結構設計,氣流注入均勻平緩;
    電氣控制:生產線采用PLC全過程控制,快速的生產節拍,配備工業計算機顯示系統。
    人機對話:控制系統能實現人、機對話,及時對生產過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示,故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
    其他技術參數:
      極限真空: 8.0×10-5Pa
      水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h;水溫≤25℃;氣壓:0.4-0.8Mpa;
      一般規格:W1200mm*L2000mm(單室) W1500mm*L2400mm(單室)

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