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    oled多源蒸發

    文章來源:pengchengzk 更新時間:2016-06-12

    oled多源蒸發

      OLED雙室多源蒸發系統
      主要用途:
      系統主要用來生長EL OEL分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。
      系統組成:
      該類設備為雙室帶手套箱結構的有機、無機、多源有機、無機氣相分子沉積設備,采用直線式結構,由一個金屬材料、氧化物生長室、一個有機材料生長室和一個手套箱組成,金屬材料生長和氧化物生長室以及進樣室/氧化物生長室之間通過空氣鎖聯接,樣品通過帶遠程手控盒功能的電動磁力耦合裝置在兩個生長室之間手動傳遞。
      技術指標:
      有機蒸發室:經烘烤6小時左右,并連續抽氣最高真空優于8.0×10 Pa
      無機蒸發室:經烘烤6小時左右,并連續抽氣最高真空優于6.6×10 Pa
      蒸發室:方形真空室,尺寸:450×400×350mm
      恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa(短時間暴露大氣并充干燥氮氣后開始抽氣)
      樣品尺寸:50×50mm 或100×100mm設有掩膜板和掩膜庫/金屬材料/氧化物生長室可放置1-4個熱阻蒸發舟和一個掩膜庫/有機材料生長室可放置1-8個高溫或低溫束源爐,可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統。
      石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999Å
      可選手套箱
      計算機系統主要功能:實現真空泵控制功能、機械泵與低溫泵聯鎖。
      控制功能、基片自轉速度控制功能。

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